半导体厂房建设特种设备使用安全管理流程优化与事故预防研究

引言

伴随半导体产业战略重要性的逐步提高，厂房建设类项目数量有所增加，厂房相较于普通工业建筑在洁净程度、抗震能力、电磁兼容特性等方面有着更为严苛的要求，使得特种设备的使用频次以及使用复杂程度均有明显提升。特种设备作为整个项目的核心设施，其运行的稳定状况与安全状况，不仅关乎施工的效率，极有可能由于设备出现故障而引发坍塌、爆炸等重大的灾害性事故，造成人员的伤亡以及经济损失。当下大多仍然采用传统工业项目管理模式，传统模式并未充分顾及半导体施工的特殊性质，导致管理流程相对滞后，并且在风险管控方面存在未能覆盖到的区域。针对特种设备安全管理流程优化途径展开研究并构建起事故预防机制，对确保项目能够安全有序地推进、促使产业实现健康稳定的发展而言，具备极为关键的意义。

一、半导体厂房建设过程中特种设备使用安全管理现状分析

（一）特种设备管理流程存在的问题

当下半导体厂房建设项目中，特种设备管理流程会出现“重使用、轻管理”的状况，其流程环节存在不齐全、衔接不流畅的问题。在设备准入环节，部分项目没有制定专门的标准，采用普通工业设备的检验标准，部分设备尽管符合通用的标准，但是却无法满足半导体施工所需要的高精度、高洁净度的要求，从而埋下安全隐患。在日常运维环节，相关记录依靠人工进行纸质化操作，存在不及时、不准确的状况，而且没有统一的信息化管理平台，很难对设备的运行状态进行实时的监控，也无法及时发现潜在的故障。在设备报废环节中，缺少清晰明确的评估准则，使用年限较为久远的老旧设备超出规定期限继续服役运行，提升事故发生风险。

（二）安全管理责任体系不完善

在半导体厂房建设过程中，涉及到的参与方数量众多，涵盖建设单位、施工单位、监理单位、设备租赁单位等，各个参与方安全管理责任划分并不明晰，从而出现“多头管理”或者“管理真空”的状况。建设单位往会将所有责任都完全转移到施工单位，没有切实履行自身应承担的监督职责。施工单位为了加快工程进度，会减少在管理方面人力和物力的投入，造成相关措施无法得到有效落实。监理单位缺少具备专业能力特种设备监理人员，无法对隐患进行有效识别与管控。设备租赁单位仅承担设备出租的业务，并不参与设备的维护工作。一旦设备出现故障，各个参与方就会相互推诿责任，最终延误对故障进行处置的时机。

（三）人员安全意识以及专业能力欠缺

安全直接责任人中包含特种设备操作人员，普遍存在安全意识以及专业能力不足的状况。部分操作人员没有意识到半导体施工过程中设备使用具备的特殊性，依旧依照普通设备的操作规范开展作业，例如，在洁净区域对起重机械进行违规操作，极有可能引发粉尘污染以及设备故障等问题。部分特种设备运用国外较为先进的技术，操作难度较大，而施工单位并未开展系统的培训工作，导致操作人员无法熟练掌握操作流程以及应急处置的方法，当设备出现异常情况时，操作人员很难在短时间内及时做出应对，容易引发各类事故。

二、半导体厂房建设中特种设备安全管理流程优化策略

（一）建立“全生命周期”特性设备管理流程

鉴于半导体厂房建设的独特性质，搭建包含设备准入、安装调试、日常运维、定期检验、报废处置的“全生命周期”管理流程。在设备准入阶段，拟定专门的标准，除了要契合国家通用的安全标准之外，增添设备密封性、抗电磁干扰能力等的检验指标，以契合半导体施工的具体要求。在安装调试阶段，引入第三方专业的机构，按照相关技术规范进行操作，并且在整个过程中开展监督与记录工作，只有在验收达到合格标准后，设备才能够投入使用。在日常运维环节中，搭建信息化的管理平台，录入设备运行参数、维护记录等的数据，达成实时监控以及数据追溯的目的，拟定标准化的运维流程，将周期以及内容予以明确。在定期检验的环节，要结合设备的使用频次以及工况状况，将检验的周期予以缩短，增添专项的项目，例如针对压力容器的密封性开展高频检测。在报废处置的环节，制定清晰的评估标准，全面考量设备的使用时长、性能以及维护成本，及时将符合标准的设备进行报废处理，规范完成拆解与回收。

（二）完善安全管理责任体系

确切地界定各方职责，搭建以“建设单位起主导作用、施工单位负责具体落实、监理单位实施监督、设备租赁单位予以配合”为架构的责任体系。建设单位组建专门的管理小组，确立安全管理方面的目标以及制定详细的计划，有规律地对施工单位的工作开展检查，并且协调解决各类重大问题。施工单位身为直接的责任承担主体，配备具备专业能力的人员，建立关于设备安全的档案资料，切实落实设备的运维工作以及相关人员的培训工作。监理单位配备持有相关证书的专业监理人员，对设备从准入环节、安装调试直至使用过程进行全面监理，一旦发现安全隐患，要立刻要求相关方进行整改，并且持续跟踪整改情况。设备租赁单位提供符合标准要求的设备，配备专业的技术人员协助进行设备的维护以及故障的处置工作，对设备的安全性能承担相应责任。

（三）强化人员培训以及考核工作

着眼于半导体厂房建设中特种设备的使用特性，拟定一套成体系的培训与考核方案。培训所包含的内容有半导体行业的施工规范、设备的操作流程、风险的识别方法以及应急处置的技能等，着重阐释洁净施工的要求以及高精度设备的操作窍门。运用“理论授课、实操训练、案例分析”相结合的模式，邀约行业的专家以及设备厂家的技术人员讲授课程，借助实际操作增强操作的能力，通过案例分析强化安全意识以及应急处理的能力。确立“持证上岗”的相关制度，考核涵盖理论方面与实操方面的内容，只有考核成绩达到合格标准后才能够上岗工作。需要对人员进行定期的复训及考核，若是考核不合格的人员，要暂时中止其上岗资格，待其重新参加培训并且考核合格后才可以恢复资格，以此保证人员的能力始终处于达标的状态。

三、构建半导体厂房建设特种设备事故预防体系

（一）构建风险分级管控机制

依据特种设备的使用特性，全方位开展对安全风险的识别工作，并实施分级管控。组建风险识别小组，该小组由建设单位、施工单位以及监理单位的技术人员和安全人员共同构成，借助“现场实地勘查、过往历史数据分析以及专家专业评估”等方法来识别潜在的风险，起重机械在洁净区域可能出现的碰撞风险、压力容器存在的泄漏风险等。按照风险发生的可能性大小以及危害程度高低，将风险划分为高、中、低三个等级，制定具有差异性的管控措施：对于高等级风险，要专门制定应对方案，安排专人进行全天 24 小时不间断监控，定期开展评估与排查工作。对于中等级风险，需建立每周排查的相关制度。对于低等级风险，则将其纳入日常管理范畴，每月进行常规性检查。构建风险动态更新的机制，依据设备的运行状况以及施工环境的改变，对风险清单和管控举措予以调整，在半导体厂房开展洁净施工的阶段，要着重对和精密仪器安装有关联的风险条目进行更新，以此保障管控措施与实际施工情况相契合。

（二）完善应急处置机制

构建涵盖“预防-预警-处置-恢复”的一体化应急处置体系。在预防环节，针对起重机械坍塌、压力容器爆炸等事故来拟定专门的应急方案，清晰界定组织机构的组成、响应的具体流程、应对的处置办法以及物资的保障措施，按照风险的不同等级展开定期的演练活动，对于高等级风险的状况每季度开展一次演练。对于中低等级风险的情况每半年开展一次演练，这样做的目的是检验预案是否具备可行性，并且提升各方面的协同合作能力。预警阶段，借助信息化的平台对设备参数进行实时的监测，设定科学合理的预警界限值，一旦超过这个界限值就会自动发出警报。事故处置阶段，当事故发生后，应即刻启动应急处置预案，迅速组织相关人员进行有序疏散，同时积极调用各类救援所需的设备，及时与医疗以及消防部门取得联系，请求给予协助。恢复阶段，对事故现场进行清理与评估工作，要深入分析事故发生的具体原因，全面总结此次事故所带来的教训，对涉及的责任人进行妥善处理，要对管理流程以及应急预案进行修订完善。

（三）加强监督检查工作

构建多维度的监督检查体系，建设单位每个季度实施全方位的专项检查工作，着重对设备准入状况、运维记录详情以及人员培训情形进行核查。监理单位每天在现场开展巡查工作，迅速要求对发现的问题进行整改。施工单位每周自行检查并纠正问题，设立隐患整改的详细台账，清晰明确责任人以及整改期限。引入具备专业能力的第三方机构进行不定期的抽查，发现潜在问题，提出具有针对性的改进建议。构建具备持续性的改进机制，有规律地开展管理工作的总结与评估，综合考虑产业的发展态势以及技术的革新情况，对管理流程以及预防举措进行优化处理，进而提高安全管理的水准。每隔半年收集行业内部最为前沿的特种设备安全管理事例与技术，将其融入到本项目的监督核查和改进工作中，保证管理体系始终能够维持先进状态，契合半导体产业迅速发展的实际需求。

四、案例验证

某半导体厂房建设项目在建设过程中运用如塔式起重机、压力容器以及施工电梯等特种设备，在项目初期依旧采用传统的管理模式，进而产生一系列问题，设备运维记录存在不完整的状况、人员出现违规作业的现象等，其中潜藏着安全隐患。项目团队采用本文所提及的优化策略，搭建“全生命周期”的管理流程，对责任体系予以完善，大力加强人员培训工作，并且建立风险分级管控以及应急处置的机制。降低设备故障的发生概率，减少人员违规次数，安全事故并未发生，项目得以按照预定时间完成，证实优化方案以及预防体系具备可行性。

结论

本文对半导体厂房建设当中特种设备的安全管理流程展开研究，发现存在流程存在不规范情况、责任体系不够完善、人员能力有所欠缺等状况，从“全生命周期”流程的搭建、责任体系的健全、人员的培训与考核三个维度入手，提出优化的策略，搭建“风险分级管控-应急处置-监督改进”一体化的事故预防体系。经过优化的流程能够弥补管理方面的漏洞、增强设备的安全程度，预防体系可以全面地管控风险、减小事故发生的概率，相关案例进一步证实研究成果具备可行性

参考文献：

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