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基于GJB 33B半导体分立器件关键试验方法解析及实践

作者

唐春花 杨英华 李东江

贵州振华群英电器有限公司 贵州省贵阳市 550018

1 引言

2024 年数据显示,我国分立器件产量达 7933 亿只,汽车电子与新能源领域占比 3 8 % 。但军用器件在极端环境下失效率仍为民用 3-5 倍,主因瞬时功率冲击( ~2 0 A / μ s )及多轴振动等应力。某机载火控系统 3 5 . 7 % 失效案例源于功率器件温度循环损伤,其中封装界面热失配(CTE 差异 )和键合层离子污染( )是主因。GJB 33B-2021 针对军用需求,其环境应力需选(ESS)强度较民用 AEC-Q101 提升 2 个数量级。

2 环境适应性试验体系创新

2.1 多应力耦合试验设计

试验剖面设计:温度循环( 次,GJB 128B-2021)、振动谱( 2 0-2 0 0 0 H z / 1 5g r m s) )、盐雾

表1 功率器件主要失效模式分析

2.2 工艺优化与验证 :

通过三项核心改进显著提升光耦器件可靠性:

2.3 极端环境验证:

试验条件: 循环,500 次(GJB 128B-2021)失效机理:金丝键合热应力断裂(SEM 分析),改进后采用AuSn 焊料工艺。

2.4 多物理场耦合试验:

温度循环- 区间,24h 连续交变,振动加载; 扫频,加速度 1 5 g r m s ,持续4h;盐雾腐蚀 溶液喷洒, 恒温,8h 暴露。

结果:经 1000 小时加速试验,失效样本数从 3 7 % 降至 6 % ,满足MIL-PRF-19500 JANS 级标准。

2.5 优化方案装备应用验证

某型料载控制系统:采用钼铜封装光耦后,低温启动成功率从 82 % 提升至 98 % 。空间站电源模块:SiC SBD 器件使电源效率提高 12 % ,满足JY级(宇航级)寿命要求。针对军用半导体分离器件的可靠性验证,设计两组核心试验。

2.6 内部水汽含量控制试验:

依据 GJB 548B 方法 1018,对密封器件进行 烘烤。通过J-STD-033 烘干工艺将水汽含量从 3 0 0 0 p p m V 降至 2 8 0 p p m V ,低于 MSL1的阈值( ≤ 1 0 0 0 p p m V) )。

2.7 动态负载寿命试验验证

3.1 热-机械应力协同管理

表2 SiC 器件性能提升

模拟战术装备开关频率(1kHz 脉冲负载),对比Si 基与SiC 基二极管。定义反向恢复时间 > 5 0 n s 或开关损耗增幅 52 0 % 为失效SiC 器件通过GJB 33B 的JY 级(宇航级)认证,适配空间站电源系统。工程验证成果典型电源模块效率提升 12 % ,通过JY 级(高可靠等级)认证;高温高湿试验( )MTBF 从 2150h 提升至 8 7 3 0 h 。

3.关键技术突破

CTE 梯度设计:采用 AlSiC( 焊料( )组合,界面应力下降 6 5 % 。振动防护:三明治封装结构使器件在 15grms振动下的位移量 < 5 μ m (MIL-STD-750F 要求 )。

3.2 腐蚀防护体系创新

复合镀层技术:NiPdAu 镀层(厚度 )使盐雾 480h 后接触电阻变化率 < 3 % 。气密性封装:激光封焊漏率<1 。通过 GJB 548B方法 1014 认证。

4.工程应用与验证

5. 结论

可靠性提升:盐雾/温冲条件下失效率降 81 % ,SiC 器件动态特性优化使电源效率突破 9 5 % ;工艺创新:建立 MSL 等级与可靠性指标量化关系( ),单器件成本降 1 8 % ,维护成本降 42 % ;标准化路径:方案通过 TRL6 级验证,完成 3 批次 1000h 工况考核,为极端环境电子系统提供标准化解决方案。

参考文献:

[1] GJB 33B-2021 半导体分立器件总规范[S].

[2] GJB 128B-2021 半导体器件试验方法

[3] MIL-STD-750F 半导体器件试验方法[S].

[4] GJB 548C-2021 微电子器件试验方法和程序

[5] 电子元器件质量一致性检验标准解读[J]. 可靠性工程,2023(4):33-39.产业研究院,2024.

[6] 密封器件水汽含量控制工艺研究[J]. 电子封装技术,2021(3):28-34.